氦氣壓縮機的應用

發(fā)布時間：2024-01-17

1.主要應用于半導體，充當前道制程設備的蒸發(fā)、濺射和離子注入真空系統(tǒng)的保護氣。在半導體加工過程中發(fā)生的化學反應通常是基于氣體或液體的，因此在硅周圍使用惰性氣體可以防止發(fā)生不必要的反應。而氦氣不會與其他物質(zhì)發(fā)生反應，化學性質(zhì)極不活潑，因為它的這一“惰性”性質(zhì)，讓它成為半導體制造的理想氣體。
2.氦氣壓縮機用于航空航天領域。氦氣在航天飛行中被用作氣球、氣墊、氣動控制、火箭推進劑等。特別是在宇航員太空出行時，氦氣是保護宇航員的必備氣體，可以防止高輻射和空間寒冷。
3.氦氣壓縮機也用于物理研究所，氦被用于粒子加速器和核物理實驗，以用于高能物理研究。
4.氦氣壓縮機可以做為低溫制冷機的重要組成部分，主要有氦壓縮泵、油氣分離器、吸附器、冷卻系統(tǒng)、電控系統(tǒng)及儀表系統(tǒng)組成。在現(xiàn)代工業(yè)中，低溫制冷應用于電子工業(yè)、半導體工業(yè)、光學工業(yè)、食品速凍、醫(yī)學設備等領域。
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